Рабочее
А поделюсь-ка я своими сегодняшними успехами!
Один из основных процессов, с помощью которых мы наносим электроды на наши образцы, называется Электронно-Лучевая Литография (ЭЛЛ). Принцип действия можно сравнить с плёночной фотографией: в данном случае процесс ЭЛЛ - это как снимок на плёнку, который потом проявляется (то есть растворяется та часть резиста, которая попала под пучок) и фиксируется (растворяется проявитель, чтобы остановить процесс). Единственная разница - фотография делается почти мгновенно, а ЭЛЛ это как художественное выжигание электронами :) На полученный "рельеф" напыляется слой титана и золота, потом тот резист, что остался после проявки, растворяется и уносит с собой слой напылённого металла, который не прилип к проявленной части подложки.
Чтобы было понятнее, покажу схему того, как это обычно происходит. Мы совмещаем многоступенчатую литографию и травление. Образцы, которые я сейчас делаю, включают в себя 4 разных литографии и 2 травления.
Теперь смешное: схему я честно нашла в гугль картинках, вставила сюда ссылку на схему, смотрю на картинку, - а это схема с сайта нашей группы. Как тесен интернет! :)
Чтобы машина знала, что именно выжигать, её нужно настроить так, чтобы загруженный дизайн точно совпадал с физической подложкой. Для моих образцов, где полмикрометра в сторону = расстрел, я должна быть уверена, что машина точно поняла, где находится кусок графена (обычно я работаю с хлопьями величиной в 10-50 микрометров) на подложке размером с 5 мм. Для этого мы сначала выжигаем в резисте хитрые метки, и по ним настраиваем машину. Один из последних этапов, когда все настройки сделаны, - последняя подгонка и одновременно контроль качества настройки: машина должна найти 3 метки размером 5 микрометров каждая, которые расположены неподалёку от графена.
Теперь хвастовство: вот так выглядит идеальная настройка (зелёный крест соответствует месту, где по мнению машины, должен быть верхний левый угол центра метки). Каждый раз, когда я делаю это последнее сканирование, и вижу зелёный крест именно там, где он должен быть, я испытываю ни с чем несравнимое удовлетворение собой :)
Кстати, я понятно написала про ЭЛЛ? Если есть вопросы, спрашивайте, пожалуйста!
Один из основных процессов, с помощью которых мы наносим электроды на наши образцы, называется Электронно-Лучевая Литография (ЭЛЛ). Принцип действия можно сравнить с плёночной фотографией: в данном случае процесс ЭЛЛ - это как снимок на плёнку, который потом проявляется (то есть растворяется та часть резиста, которая попала под пучок) и фиксируется (растворяется проявитель, чтобы остановить процесс). Единственная разница - фотография делается почти мгновенно, а ЭЛЛ это как художественное выжигание электронами :) На полученный "рельеф" напыляется слой титана и золота, потом тот резист, что остался после проявки, растворяется и уносит с собой слой напылённого металла, который не прилип к проявленной части подложки.
Чтобы было понятнее, покажу схему того, как это обычно происходит. Мы совмещаем многоступенчатую литографию и травление. Образцы, которые я сейчас делаю, включают в себя 4 разных литографии и 2 травления.
Теперь смешное: схему я честно нашла в гугль картинках, вставила сюда ссылку на схему, смотрю на картинку, - а это схема с сайта нашей группы. Как тесен интернет! :)
Чтобы машина знала, что именно выжигать, её нужно настроить так, чтобы загруженный дизайн точно совпадал с физической подложкой. Для моих образцов, где полмикрометра в сторону = расстрел, я должна быть уверена, что машина точно поняла, где находится кусок графена (обычно я работаю с хлопьями величиной в 10-50 микрометров) на подложке размером с 5 мм. Для этого мы сначала выжигаем в резисте хитрые метки, и по ним настраиваем машину. Один из последних этапов, когда все настройки сделаны, - последняя подгонка и одновременно контроль качества настройки: машина должна найти 3 метки размером 5 микрометров каждая, которые расположены неподалёку от графена.
Теперь хвастовство: вот так выглядит идеальная настройка (зелёный крест соответствует месту, где по мнению машины, должен быть верхний левый угол центра метки). Каждый раз, когда я делаю это последнее сканирование, и вижу зелёный крест именно там, где он должен быть, я испытываю ни с чем несравнимое удовлетворение собой :)
Кстати, я понятно написала про ЭЛЛ? Если есть вопросы, спрашивайте, пожалуйста!