Как известно, в соответствии с законом Мура, приведенная площадь кристалла интегральной схемы удваивается через каждые 18 месяцев. В соответствии с этой закономерностью имеет место постоянный процесс уменьшения топологических проектных норм, что, в свою очередь, достигается путем применения нового фотолитографического оборудования для проекционного
(
Read more... )